另辟蹊径！不用EUV光刻机也能做出5nm 快科技5月30日消息，大家都知道，当下先进工艺（尤其是7nm以下），基本都依赖ASML的EUV极紫外光刻机。 按照传统认知，没有EUV就造不出先进工艺，那有没有其他办法呢。 前段时间，世界上就有一种特殊5nm的消息传出，它是怎么来的呢？ 有报道称，这种5nm采...
ASML惨了！台积电一句话太惊人 世界最先进EUV光刻机只卖了5台 快科技5月29日消息，近日，台积电重申，1.4nm级工艺技术不需要高数值孔径（High-NA）EUV光刻机，目前找不到非用不可的理由。 台积电在阿姆斯特丹举行的欧洲技术研讨会上重申了其长期以来对下一代高NA EUV光刻设备的立场。该公司的下一代工艺技术，包括A...
